1、工艺设备
· 
要求的环境条件（洁净度水平、温度、湿度）；
· 
· 
总面积（操作面积加上维护通道）；
· 
· 
高度和宽度（入口通道的净空，以及安装升降机的净空）；
· 
· 
重量（现有建筑物结构所能承载的负荷）；
· 
2、与工艺相关的外部供应
 
供给建筑物的水质；
 
 
实验室废弃物排放；
 
高纯度水（RODI、WFI、蒸馏水）；
 
真空、CDA；
 
气体和化学物质（危险性和高纯度）；
 
工艺废气；
 
电源（可用电压、可靠性和品质）；
 
3、安保措施
 
危险材料（废物的传送、装卸、储存、收集/处理）；
 
人流和化学/气流的分离；
 
现场和建筑物的可达性；
 
各国对危险材料的安全要求或规定；
 
4、总的空间要求
 
可以改造的或者租用的空间；
 
实验室空间；
 
实验室的后备空间（设备室、化学和气体储存室）；
 
洁净室检测的后备空间（更衣室、设备室）；
 
洁净室检测的机械空间（循环空气单元[RAU]、冷冻机、加湿器、供水等用房）；
 
洁净室检测的电气空间（电气室、服务器机房、IT柜、应急发电机）；
 
可用的屋顶空间；
 
5、预算和进度
 
施工准入限制；
 
干预正在进行的活动；
 
施工截止时间的可行性。